Kyocera Fineceramics auf der SEMICON Europa 2023 – Innovative Materialien und Bauelemente für die Halbleiterfertigung

Kyoto/Mannheim − Das Tochterunternehmen der KYOCERA Europe GmbH, welches zum japanischen Kyocera-Konzern gehört, ist einer der weltweit führenden Hersteller von Hochleistungskeramiken, die zunehmend auch in der Halbleiter- und Elektronikbranche zum Einsatz kommen. Im Fokus stehen dabei Bauteile, die eine besonders hohe Präzision, Biegefestigkeit und geringe Wärmeausdehnung aufweisen müssen, wie etwa Chucks, Spiegel und Komponenten von Positioniertischen in der Halbleiterfertigung. Die Bauelemente von Kyocera Fineceramics zeichnen sich durch hohe Genauigkeit selbst bei komplexen Oberflächenprofilen und -strukturen aus, und werden für Kunden maßgeschneidert entwickelt und hergestellt. Dabei sind neben den komplexen Strukturen besonders die Haltbarkeit beim Einsatz in einem sehr breitem Temperaturbereich, von kryogen bis zu hohen Temperaturen und schnellen Temperaturwechseln, unter rauen Prozessbedingungen hervorzuheben.

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