Für jede Anforderung die passende Lösung
Hochleistungskeramik in der Halbleiterfertigung
Wafer Chucks, Chuck Supports und weitere Komponenten für Wafer Tables sind essenziell für die Halbleiterfertigung. Unsere Bauteile aus technischer Keramik bieten erstklassige Lösungen für Ihre anspruchsvollen Anforderungen.
Die exzellente spezifische Steifigkeit unserer Hochleistungskeramik gewährleistet präzise Positionierung und absolute Stabilität in Ihren Fertigungsprozessen. Die hohe Wärmeleitfähigkeit kombiniert mit der sehr niedrigen Wärmeausdehnung (CTE) minimiert die Auswirkungen von Temperaturschwankungen in Ihren Prozessen und trägt zur stabilen Performance Ihrer Anlagen bei. Darüber hinaus überzeugt technische Keramik mit ihrem hohen Verschleißwiderstand und niedrigem Gewicht.
Vertrauen Sie auf Bauteile für Wafer Tables von Kyocera, um Ihre Halbleiterproduktion zu optimieren und Ihre Prozesse effizienter zu gestalten. Entdecken Sie die Zukunft der Halbleitertechnologie mit unserer technischen Keramik.
Entsprechend Ihrer Anforderungen unterstützen wir Sie bei der Materialauswahl: Siliziumkarbid (SiC), Silizium-infiltriertem Siliziumkarbid (SiSiC) und Siliziumnitrid (SiN). Sowohl SiC als auch SiSiC können zusätzlich mit einer SiC-Beschichtung versehen werden. Aufgrund des einzigartigen Prozesses liegen die Verunreinigungswerte dieser Beschichtungen bei deutlich unter 3 ppm. Das ermöglicht Anwendungen in besonders empfindlichen Prozessumgebungen. Die Haftfestigkeit der Beschichtungen erlauben eine Mehrfachbeschichtung und eine tiefe Lochabdeckung. Dadurch werden Anwendungen im extremen Hochvakuum und komplexe Designs für spezielle Prozesse ermöglicht.
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Komponenten für Wafer Table: Produktübersicht
Wir bieten eine Vielzahl von Bauteilen für Wafertische. Von Chucks über Chuck Supports hin zu Führungsleisten. Gemeinsam mit unseren Kunden finden wir die passende Lösung für jede Anforderung.
Wafer Chucks
Unser Portfolio umfasst Vakuumchucks, elektrostatische Chucks (ESC) und Suszeptoren, um Ihre spezifischen Anforderungen zu erfüllen.
Unsere Vakuumchucks bieten eine zuverlässige Fixierung Ihrer Wafer und gewährleisten eine präzise Positionierung während der Bearbeitung. Sie sind ideal für Anwendungen, bei denen eine hohe Stabilität und eine exakte Ausrichtung erforderlich sind.
Eine innovative Lösung für anspruchsvolle Prozesse im Vakuum bieten ESC. Sie ermöglichen eine Fixierung der Wafer mit höchster Präzision.
Darüber hinaus bieten unsere Suszeptoren die Möglichkeit hochpräzise Bauteile in Ihrer Fertigung einzusetzen.
Chuck Support
Die hochpräzise Bearbeitung unserer Keramiken und die bemerkenswerte spezifische Steifigkeit ermöglichen die Fertigung von sehr komplexen und speziellen Komponenten für Wafer Tables.
Das Polieren und Beschichtungsmöglichkeiten unserer Keramiken mit optischen Materialien wie Aluminium erlauben auch die Verwendung in optisch gesteuerten Anlagen.
Weitere Komponenten für Wafer Tables
Die sehr hohe Präzision, auch für große monolithische Bauteile, größer als 1 m, bringt weitere Vorteile bei der Konzeption und den Möglichkeiten für Führungsschienen (Guide Bars), Läufern (Sliders), Encoder und vielen weiteren Komponenten.
Die Vorteile der Fertigungstechnologien von Kyocera und die hervorragenden Eigenschaften unserer Keramiken lassen eine kosteneffiziente Umsetzung von Bauteilen und Baugruppen zu, für die bisher andere Materialien in Betracht gezogen wurden.